近年，在这些规则规模中坚持处理空气进程，使咱们必需承担资金和运营本钱。可是为什么值得花费这么多钱用在无尘车间、洁净室中操控相对湿度呢？道理很简单，因为相对湿度有一系列可能使洁净室总体体现下降的因素，其间包含：1、***成长；2、工作人员感到室温舒适的规模；3、出现静电荷；4、金属腐蚀；5、水汽冷凝；6、光刻的退货；7、吸水性。

***和其他生物污染（霉菌，病毒、***、螨虫）在相对湿度超越60%的环境中能够活跃地繁衍。一些菌群在相对湿度超越30%时就能够添加。在相对湿度处于40%至60%的规模之间时，能够使***的影响以及呼吸道gan染降至低。相对湿度在40%至60%的规模相同也是人类感觉舒适的适度规模。湿度过高会使人觉得气闷，而湿度低于30%则会让人感觉干燥，皮肤裂，呼吸道不适以及情感上的不快。高湿度实际上减小了无尘车间、洁净室外表的静电荷堆集——这是大家期望的成果。较低的湿度比较合适电荷的积江西并成为潜在的具有***性的跟电释放源。当相对湿度超越50%时，静电荷开始迅速消散，可是当相对湿度小于30%时，它们能够在绝缘体或许未接地的表成上持续存在很长一段时刻。

所谓洁净度是指洁净目标——空气的清洗程度。洁净度通常用必定体积或必定分量空气中所含污染物质的巨细、数量或分量来表明。例如，每立方米空气中，含有大于或等于0.5um的悬浮微粒数有X个，即洁净度为》0.5um颗粒为X个/立方。又如：每立方米空气中尘粒的质量为Ymg，其洁净度为mg/立方表明。因为空气净化的意图与目标不一样，净化的内容、办法和衡量规范也各不相同。从空气净化的目标来看，有的是要处理大气污染的疑问，有的是以无尘车间为目标。大气污染的净化主要是各种气体废弃物的处理疑问，是以高浓度污染空气为目标。而各种无尘车间面对的是室内送风的净化疑问，是以超低污染浓度空气为目标的。所谓超低污染浓度的空气，也即是平时以为对比洁净的空气。但是对于电子、宇航、高精密机械制造、、某些yi疗部分及制药等一些对出产环境请求严厉的技术进程或房间，这种相对对比洁净的空气，仍然不符合请求，还需求进一步净化。