相对湿度在35%－40%之间能够作为一个令人满意的折中，半导体无尘车间、洁净室一般都运用额外的操控装置以约束静电荷的堆集。许多化学反响的速度，包含腐蚀的进程，将跟着相对湿度的zeng高而加速。一切暴露在无尘车间、洁净室周围空气中的外表都很快地被覆盖上至少一层单分子层的水。当这些外表是由能够与水反响的薄金属涂层组成时，高湿度能够使反响加速。幸运的是，一些金属，例如铝，能够与水构成一层维护形的氧化物，并阻止进一步的氧化反响；但另一种情况是，例如氧化铜，是不具有维护才能的，因而，在高湿度的环境中，铜制外表更容易遭到腐蚀。

离开无尘车间应该注意的事项：1、脱下***工作服和一次性保护装置，并在返回时再穿上重新处理过的成套工作服。2、取下一次性保护装置，但工作服重复利周，工作服要放置在专门的放置箱里，防止污染。3、如果在返回时需要全部更换工作服，则可将帽、手套、面罩和脚套作为废物放入箱内。4、如果其余工作服是非一次性的，则要将其放入另一衣箱，送去无尘车间专用洗衣房处理。

所谓洁净度是指洁净目标——空气的清洗程度。洁净度通常用必定体积或必定分量空气中所含污染物质的巨细、数量或分量来表明。例如，每立方米空气中，含有大于或等于0.5um的悬浮微粒数有X个，即洁净度为》0.5um颗粒为X个/立方。又如：每立方米空气中尘粒的质量为Ymg，其洁净度为mg/立方表明。因为空气净化的意图与目标不一样，净化的内容、办法和衡量规范也各不相同。从空气净化的目标来看，有的是要处理大气污染的疑问，有的是以无尘车间为目标。大气污染的净化主要是各种气体废弃物的处理疑问，是以高浓度污染空气为目标。而各种无尘车间面对的是室内送风的净化疑问，是以超低污染浓度空气为目标的。所谓超低污染浓度的空气，也即是平时以为对比洁净的空气。但是对于电子、宇航、高精密机械制造、、某些yi疗部分及制药等一些对出产环境请求严厉的技术进程或房间，这种相对对比洁净的空气，仍然不符合请求，还需求进一步净化。