





合理的设计净化车间对其净化效果有着很重要的作用。 一、布置合理、紧凑。洁净室或洁净区内只布置必要的工艺设备以及有空气洁净度等级要求的工序和工作室。二、在满足生产工艺要求的前提下,空气洁净度高的洁净室或洁净区宜靠近空气调节机房,空气洁净度等级相同的工序和工作室宜集中布置,靠近洁净区人口处宜布置空气洁净度等级较低的工作室。
净化工程洁净室的温湿度主要是根据您的加工技术请求来断定,在满意加工技术的条件下,必选应当思考人的舒适感。随着空气洁净度请求的进步,技术对温湿度的请求也越来越高,有必要到达必定的温湿度等级。例如在大规模集成电路生产的光刻***技术中,作为掩膜板资料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差请求越来越小。直径100um的硅片,温度上升1度,就导致了0.24um线性膨胀,所以有必要有±0.1度的恒温,一起请求湿度值通常较低,因为人出汗今后,对商品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超越25度。
版权所有©2025 产品网