***室净化工程验收的测试方法:要在一间通风系统正常运行的条件下实现负压环境，首先调节房间的空气流动供应量与排放量，实现排放量比供应量高10%或者高50立方英尺/分钟(取决于较高值)即可。大多数情况下，这种标准就能够实现至少0.001英寸水位表的负压值。如果无法实现0.001英寸水位表的负压值，也不能通过增加流量差额(在通风系统允许范围内)实现，则应仔细检查该房间是否存在缝隙(例如门缝、窗缝、水管装置和各种嵌入墙壁的装置等)，然后采取补救措施，密封这些裂缝。

净化工程车间的防静电处理,1.使用离子风枪、离子头、离子棒等设施，使在一定范围内防止静电产生。2.半导体器件应盛放在防静电塑料盛放器或防静电塑料袋中，这种防静电盛放器有良好导电性能，能有效防止静电的产生。当然，有条件的应盛放在金属盛放器内或用金属箔包装。3.对于操作人员应在手腕上带防静电手带，这种手带应有良好的接地性能，这种措施极为有效。

无尘室内该如何防止微粒子污染呢？应遵守下列基本原则：若能彻底实施“不携入”技术，无尘室内的洁净度就可以维持。但现实中人和物品的频繁出入及制造机台的掣动，在广大的无尘室内要有完全洁净度是不可能的。因此“不储备”技术快速地在过滤器中应用以除去已发生的微粒子变得非常重要。通常已发生的微粒子会依据重力及静电吸附力而停留在周边的物体表面。突发性的振动及不稳定的气流会使这些累积微粒在空气中再度扬起，增加了重大微粒子污染的***性。