




实验洁净室一般实施两级隔离,一级隔离通过生物安全柜、负压隔离器、正压防护服、手套、眼罩等实现;二级隔离通过实验室的建筑、空调净化和电气控制系统来实现。但由于净化空调需要风量小为了安全起见,风量都按大的估算,一般都要超过规范规定,物别是百级以上,冷热负荷在要求不是很严格的情况可能估算,现在专门有净化空调机组,可以直接利用。一般实验室装备有:超净工作台、生物安全柜、边台或不锈钢操作台、洗涤台等。
净化工程洁净室的温湿度主要是根据您的加工技术请求来断定,在满意加工技术的条件下,必选应当思考人的舒适感。随着空气洁净度请求的进步,技术对温湿度的请求也越来越高,有必要到达必定的温湿度等级。例如在大规模集成电路生产的光刻***技术中,作为掩膜板资料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差请求越来越小。直径100um的硅片,温度上升1度,就导致了0.24um线性膨胀,所以有必要有±0.1度的恒温,一起请求湿度值通常较低,因为人出汗今后,对商品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超越25度。
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