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 微型传感器是基于半导体集成电路技术发展的MEMS（microelectromechnicalsystem微电子机械系统）技术，利用微机械加工技术将微米级的敏感组件、信号处理器、数据处理装置封装在一块芯片上，具有体积小、成本低、便于集成等明显优势，并可以提高系统测试精度。现在已经开始用基于MEMS技术的传感器来取代已有的产品。随着微电子加工技术，特别是纳米加工技术的进一步发展，传感器技术还将从微型传感器进化到纳米传感器。微型传感器的研制和应用将越来越受到各个领域的青睐。

 

Bosch Rexroth Servodyn *** 10/20 ***10/20 047818-306

Bosch Rexroth Servodyn *** 10/20 ***10/20 047818-304

Bosch Rexroth Servodyn *** 10/20 ***10/20 047818-314

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Siemens Simodrive 611 Regelkarte 6SN1118-1NH00-0?AA2

Bosch Servodyn *** 10/20-TC1 065668-105 (Nr.15)

Bosch Servodyn *** 10/20-TC1 065668-105 (Nr.17)