1、进入无尘车间的人员应严格执行人身净化制度、路线和程序,任何人不得随意更改。在洁净室内必须按规定着衣、戴帽、换鞋。
2、进入洁净级别1万级以及高于万级的无尘车间洁净区域,必须至少经过二次更衣。送风量大:为了满足无尘车间内的洁净度及热湿平衡,需要较大的送风量,就300平方米的车间,吊顶高度为2。可先从一次更衣室进入,进行更鞋、脱外衣、换洁净服、戴口罩、帽子(或洁净头套)后,经过走廊进入二次更衣室,进行二次更衣、更鞋、戴防静电腕带、戴口罩、戴帽子,确认更换完毕后,进入风淋室进行风淋后,才能进入万级以及高于万级的洁净区域。
3、严禁不通过风淋而直接走旁通门进入洁净室。旁通门只允许人员出到洁净间外以及发生紧急情况时的进出。
人员进出无尘车间的要求:
1、进入无尘车间的工作人员必须身体健康,并佩戴相关***;
2、临时进入者须经申请获得批准并佩带临时出入证;
3、进入无尘车间的所有人员应走人员通道,工作人员从换鞋间进入无尘车间,参观人员从参观通道进入参观;
4、通过换鞋间进入无尘车间的人员,必须按规定换鞋、穿着洁净服、戴帽子及口罩,严格按进入流程;
5、进入无尘车间的工作人员不准带入未经洁净处理的各类材料、设备和仪器等,不得将与生产无关的和容易产生尘粒的物品带入;各种个人物品,如钥匙、食品、香1烟、打火机等应放在更衣室专用柜子里;
无尘车间在使用时应注意以下问题:
1、注意控制污染源,主要是人和进入无尘车间的物品,以及生产过程中发生的尘粒。
2、人净路线和物净路线要合理的分开。人员在进车间前沐浴更衣,着装符合洁净标准;物料在进车间前更换包装吹淋,确保洁净度符合要求。
3、无尘净化车间内的作业人员要严格按照无尘室的操作规则进行工作。门窗应处于关闭状态,车间之间人员和物品的传递应有缓冲区,并设置吹林设备来阻止气流的对流,与生产无关的人员不行进入无尘车间。
4、无尘净化车间的换气次数以及空调净化系统的送风量要控制好,目的是维持室内正压和洁净度,过滤器的阻力制约。
5、设备定期、定时、定人进行维护***,***过程中注意清洁物品符合要求。
6、无尘净化车间应定期测试尘粒浓度、送风口出来的风速、温湿度等,根据测量的结果作出维护方案。
千级无尘车间在设计上要考虑到以下几个问题:
1、维护性
对千级无尘车间而言,较严格要求的部分为地板、天花板,以及墙壁的部分。 至于维修的问题,对材料的选择是否容易清洁性及维修性都应有其优先级。无尘车间装修设计的平面布局无尘车间一般包括洁净区、准洁净区和辅助区三部分。在应用力面、天花板、地板及墙壁三者之中1重要的为天花板,其包含HEPA及 ULPA等滤网,其可过滤掉房间的微粒子,且其常会因各个不同的需要,便其分开来,供应各个不同区域的小房间。
2、成本
微电子 C/R 建设费可能花费到亿。fab 能更快的被建造起来,产品也就能更快达到这市场。 许多半导体公司的口号是较便宜和较好的。然而 "钱" 将成为一个很重要的考虑因素。
3、适应性
一些厂商认为适应性可节省一笔金钱,而适应性意指系统可任意移动或改变而不会招致1极大的损失。C/R 的拥有者和设计者的能力为改变一 C/R的关键,所以他们从不将1初的设计定型。
4、耐久性
无尘车间要有符合环境、无尘室内部的清洗溶液及振动、设备、空气过滤系统的耐久材料。而耐久性,同时也依赖无尘室等级来建造。半导体 Fabs 倾向选择铝,基于它的耐久性,然而,它不是便宜的物质。
5、清洗
无尘车间的墙壁需要有容易被清洗和擦拭,直到防止滤过性1病毒或***的污染之特性。在净化工程市场,清洗真正地是一个1重要的企业。
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