由于无尘车间是密闭性很强的建筑,其安全疏散成为非常重要和突出的问题,和净化空调系统设置也有密切关系。一般应注意以下几点:
1、每一生产层防火区或洁净区至少设2个安全出口,只有面积小于50㎡,人员少于5人时,可允许只设一个安全出口。
2、人净入口不应作疏散出口。因为人净路线往往迂回曲折,一旦烟火迷漫,要求人员很快跑到室外是很困难的事。
3、吹淋室不能作为一般出入通道,由于这种门常为两扇联锁或自动,一旦出现故障,非常影响疏散,所以一般均在风淋室设旁通门,工作人员多于5人时必须设此门。平时工作人员出无尘车间时不应走吹淋室而应走旁通门。
4、洁净区内各无尘车间的门,考虑到维持室内压力状况的需要,其开设方向要朝向压力大的房间,因为要靠压力把门压紧,这显然和安全疏散的要求相反。为了考虑平时洁净和紧急疏散时的两方面要求,规定洁净区和非洁净区之间的门、洁净区与室外的门作为安全疏散门对待,其开启方向一律朝向疏散方向,当然,单设的安全门也是如此。无尘车间对静电和灰尘颗粒要求十分严格,因此进入无尘车间需要遵守严格的规定。
在微电子工业,精密仪器,LED,液晶等等那些从事精密的生产和科学实验活动,出于生产的需要得达到一定无尘生产环境,而专门建设无尘厂房、无尘车间或者无尘室的需要而产生的一门技术,它就是洁净技术。她是为了适应实验研究与产品加工的精密化、微型化、高纯度、高质量和高可靠性等方面要求而诞生的一门新兴技术。这类技术夹道(墙)由于大多采用轻质隔断,所以当工艺调整时,可方便地进行调整。
工业生产的自然环境湿度是影响空气环境质量的重要因素。很多工业产品必须在规定湿度下才能生产出来。无尘车间的温湿度既要满足工艺生产要求,又要满足人的舒适度,温湿度等级根据洁净度的要求进行调整。就苏州工业园区电子厂房净化工程而言,在大规模集成电路进行生产光刻***过程中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。 湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。无尘车间装修是一个非常具有技术性的行业,不仅需要具备超高的洁净度,有些地方还需具有防尘、防火、保温、抗静电等要求。相对湿度在50%时易生锈。
无尘车间都要通过保持室内静压高于非洁净区的静压,来防止污染,内外压力差需要保持:洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力;相通洁净室之间的门要开向洁净度级别高的房间;洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。
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