无尘车间有哪些优势?如下:
一、无尘车间保湿性能好,强度高,隔热保温。不管是工作人员的工作环境还产品生产都会得到很大的保障。
二、无尘车间的送风过滤设备,***送风口选用不锈钢结构,漂亮清洗,冲孔网板用烤漆铝板,不生锈不粘尘,易清洗; 送回风管道用热渡锌板制成,贴净化保温棉。
三、无尘车间的地上装置,地上通常选用环氧自流坪地坪或高1档耐磨塑料地板,如有防静电需求的,可选用防静电地板。
四、无尘车间洁净性能好,不会吸附尘埃,十分适用于净化车间墙体,而且十分节能环保,表面漂亮。价钱实惠,用来缔1造车间或改造车间能有用大大的下降运用本钱。
五、无尘车间施工便利,重量轻:10-14千克/平方米,相当于砖墙的1/30 ,净化厂房隔墙、顶板通常多选用50mm厚的夹板;而且彩钢板设备灵敏便利。施工周期短,车间能够依据出产需求进行调整,运用彩钢板墙体,车间改造施工愈加便利。
无尘车间要控制相对湿度,以下几个影响因素也是关键:
金属腐蚀:很多化学反应的速度,包括腐蚀过程,将随着相对湿度的增1高而加快。所有暴露在无尘车间、洁净室周围空气中的表面都很快地被覆盖上至少一层单分子层的水。当这些表面是由可以与水反应的薄金属涂层组成时,高湿度可以使反应加速。幸运的是,一些金属,例如铝,可以与水形成一层保护型的氧化物,并阻止进一步的氧化反应;但另一种情况是,例如氧化铜,是不具有保护能力的,因此,在高湿度的环境中,铜制表面更容易受到腐蚀。门窗与内墙而要平直,结构要充分考虑对空气和水汽的密封,使污染粒子不易从外部渗入,防止由于室内外温差而产生结露。
水汽冷凝:在相对湿度较高的环境中,浓缩水形的毛细管力在颗粒和表面之间形成了连接键,可以增加颗粒与硅质表面的黏附力。这种效应——凯尔文浓缩——当相对湿度小于50%时并不重要,但当相对湿度在70%左右时,就成为颗粒之间黏附的主要力量。 所以必须要对无尘车间相对湿度控制。高、中、初效过滤器与支撑框架的连接以及风管与设备的连接处应可靠密封。
光刻的退化:这在半导体无尘车间、洁净室中***迫切需要适当控制的是光刻胶的敏***。由于光刻胶对相对湿度极为敏感的特性,它对相对湿度的控制范围的要求是***严格的水准。实际应用上,相对湿度和温度对于光刻胶稳定性以及精1确的尺寸控制都是很关键的。甚至是在恒温条件下,光刻胶的粘性将随着相对湿度的上升而迅速下降。必要时,再用热湿负荷进行送风量的校核计算,一般情况下都能满足消除余热、余湿的要求。当然,改变粘性,就会改变由固定组分涂层形成的保护膜的厚度。
还有就是吸水性,在高的相对湿度环境下,由于水分的吸收,使烘烤循环后光刻胶膨胀加重。光刻胶附着力同样也可以受到较高的相对湿度的负1面影响;较低的相对湿度(约30%)使光刻胶附着更加容易,甚至不需要聚合改性剂,如六甲1基二硅氮烷(HMDS)。
无尘车间的平面布局
无尘车间一般包括洁净区、准洁净区和辅助区三部分。
无尘车间的平面布置可以有以下几种方式:
1.外廊环绕式:外廊可以有窗和无窗,兼作参观和放置一些设备用,有的在外廊内设值班采暖。外窗必须是双层密封窗。
2.内廊式:无尘车间设在外围,而走廊设在内部,这种走廊的洁净度级别一般都较高,甚至和无尘车间同级。
3.两端式:洁净区设在一边,另一边设准洁净和辅助用房。
4.核心式:为了节约用地、缩短管线,可以洁净区为核心,上下左右被各种辅助用房和隐蔽管道的空间包围起来,这种方式避开室外气候对洁净区的影响,减少了冷热能耗,利于节能。
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