无尘车间要控制相对湿度，以下几个影响因素也是关键：

金属腐蚀：很多化学反应的速度，包括腐蚀过程，将随着相对湿度的增1高而加快。所有暴露在无尘车间、洁净室周围空气中的表面都很快地被覆盖上至少一层单分子层的水。当这些表面是由可以与水反应的薄金属涂层组成时，高湿度可以使反应加速。幸运的是，一些金属，例如铝，可以与水形成一层保护型的氧化物，并阻止进一步的氧化反应；但另一种情况是，例如氧化铜，是不具有保护能力的，因此，在高湿度的环境中，铜制表面更容易受到腐蚀。

水汽冷凝：在相对湿度较高的环境中，浓缩水形的毛细管力在颗粒和表面之间形成了连接键，可以增加颗粒与硅质表面的黏附力。这种效应——凯尔文浓缩——当相对湿度小于50%时并不重要，但当相对湿度在70%左右时，就成为颗粒之间黏附的主要力量。 所以必须要对无尘车间相对湿度控制。

光刻的退化：这在半导体无尘车间、洁净室中***迫切需要适当控制的是光刻胶的敏***。由于光刻胶对相对湿度极为敏感的特性，它对相对湿度的控制范围的要求是***严格的水准。实际应用上，相对湿度和温度对于光刻胶稳定性以及精1确的尺寸控制都是很关键的。甚至是在恒温条件下，光刻胶的粘性将随着相对湿度的上升而迅速下降。当然，净化车间多少钱，改变粘性，就会改变由固定组分涂层形成的保护膜的厚度。

还有就是吸水性，在高的相对湿度环境下，由于水分的吸收，使烘烤循环后光刻胶膨胀加重。光刻胶附着力同样也可以受到较高的相对湿度的负1面影响；较低的相对湿度(约30%)使光刻胶附着更加容易，净化车间施工，甚至不需要聚合改性剂，如六甲1基二硅氮烷(HMDS)。

无尘车间要求的“千级”和“万级”是什么意思?

　　答：按其范围内悬浮在空气中的微粒多少划分的空气洁净度等级。千级、万级无尘车间表示每立方米空气中直径大于等于0.5um的灰尘粒的数量少于10万个。也就是说千级、万级只是指灰尘数量，自然的级别数值越小，等级越高。

　　例如：空气洁净度为“万级”的室内，每立方空气中所含直径大于或等于0.5μm的微粒数小于350000个，但其中直径大于或等于5μm的微粒应小于2000个;“千级”、“百级”要求更高，衢州净化车间，也就是经净化后，允许残留的粒子数更少(具体可以参看1相关规定)。