无尘车间生产对于湿度控制是非常重要的条件之一，无尘车间、洁净室运作过程中一个常用的环境控制条件是相对湿度。半导体无尘车间、洁净室中的典型的相对湿度的目标值大约控制在30至50%的范围内，允许误差在±1%的狭窄的范围内，例如光刻区或者在远紫外线处理(DUV)区甚至更小而在其他地方则可以放松到±5%的范围内。

根据美国施行的规范，可将无尘车间分成六级。各自是一级、十级、百级、千级、万级、十万级：一级≥百级≥万级≥千级≥十万级≥上百1万级。越排前，级别越高，一级是级别***1大的。***普遍的是百级到十万级。一级的无尘车间主要用于制造集成电路芯片的电子光学工业，对集成电路芯片的精准规定为亚μm。十级的无尘车间主要用于网络带宽低于2μm的半导体材料工业。百级是***常见的。因而是***关键的无尘车间，大家经常不正确地将百级净化室称之为无菌车间，以表明“无菌检测”的或“洁净”的自然环境规定，百级洁净室可用于药业工业的无菌检测制造加工工艺等，这一净化室很多应用于，植如身体物件的制造，***，包含移植术，集成器的制造，这些对***1性1感1染比较敏感的患者的防护医1治，例如像骨1髓移植患者***后的防护医1治。千级的无尘车间主要用于高品质电子光学商品的生产制造，还用于检测，装配线飞机场蛇螺仪，装配线高品质微型轴承等。千级无尘车间用于液压机械或标准气压机器设备的装配线，一些状况下也用于食品工业工业，除此之外，千级无尘车间在医工业中也很常见。十万级无尘车间用于许多的工业单位，例如电子光学商品的制造，用于较小的电子器件制造大中型的电子技术，液压机或标准气压系统软件的制造，食品工业的生产制造，医1药工业也经常应用这一级无尘车间。

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无尘车间内怎样控制微粒子浓度值呢? 1、 不携入 :人、机、料进无尘室不携入微粒子 (1)进到无尘室者在更衣间要衣着不发尘、不造成静电感应的具独特导电率化学纤维材料的无尘服、帽、鞋、胶手套、防护口罩等， 再根据风淋室吹淋，髙速整洁的气旋可去除附在衣服裤子表层的物体，吹淋结束才可以进到无尘室。 (2)设备、原材料进无尘室前，应尽量在密封性情况下带到无尘室前室维护***完用超纯水系统擦洗，经货淋室吹淋或风淋室不锈钢传递窗吹淋后才可以进到无尘室。 (3)无尘室中须全线配戴封闭式安全头盔及配戴附带空气过滤网的排气管用中小型过虑模块于腰部。 2、不产生 :无尘房间内动态性自然环境下机速度很、料的不产生控制; 在控制较大污染物--人到无尘房间内的微粒子发尘量的另外，也应控制第二大污染物—制造机台的发尘量。因物件在挪动时，所造成 的磨擦及触碰脱离会导致发尘，而物件在挪动时也会有微粒子的产生。故以便控制发尘量超过***1小限度应采用下列防范措施： (1)降低触碰脱离发尘的姿势形状; (2)选用摩擦系数发尘小的材料; (3)选用发尘小的润滑脂。