无尘车间生产对于湿度控制是非常重要的条件之一，无尘车间、洁净室运作过程中一个常用的环境控制条件是相对湿度。半导体无尘车间、洁净室中的典型的相对湿度的目标值大约控制在30至50%的范围内，允许误差在±1%的狭窄的范围内，例如光刻区或者在远紫外线处理(DUV)区甚至更小而在其他地方则可以放松到±5%的范围内。

千级无尘车间代表什么意思?每立方将低于0.5μm粒度的微尘总数操纵在3500个下列，就做到了国际性洁净标准的A1级。现阶段运用在芯片级生产制造的洁净标准针对尘土的规定高过A1级，那样的高标准关键被运用在一些级别较高芯片生产上。微尘总数被严格控制在每立方1000个之内，这也就是说业界别名级別中的千级。千级无尘车间的标准，微尘总数被严格控制在每立方1000个之内，这也就是说业界千级无尘车间的含意。（1000级的定义是：每立方英寸内，大于0.5的尘土颗粒物不可以超出1000颗）。无尘车间级别标准划分洁净室等级标准ISO14644依据飘浮粒子浓度值这唯1指标值来划分净化室(区)及有关控制计划自然环境中气体洁净度等级的级别，而且仅考虑到粒度限制值(下限)0.1um～0.5um范围之内总计遍布的粒子群。

净化车间主要作用在于控制产品所接触的大气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造，以保证产品质量，此空间我们称之为净化车间。洁净区的主体结构不宜采用内墙承重，主体结构的耐久性需要与室内装备和装修水平相协调，洁净车间装修，并具有防火、控制温度变形和不均匀沉陷的性能；洁净室顶棚，墙面和地板的材料必须是不易破1裂、不易沾颗粒，以及几乎不起尘的。另外根据房间不同的工作条件，洁净车间建设，还必须考虑材料的化学性能是否稳定；洁净室的高度以净高控制，净高应以100mm为基本模数；净化车间厂房的变形缝应尽量避免穿过洁净区；送、回风管和其他管线需暗敷时，应设置技术夹层、技术夹道或地沟等。

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