光学微电子净化工程目前已是半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造和生***学、医1药、食品制造等行业不可或缺的重要设施。是将一定空间范围内之空气中的微尘粒子、***空气、***等之污染物排除,并将室内之温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给于特别设计之密闭空间。
净化车间材料是净化厂房墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板制造,其特点为美观、刚性强、保温性能好、易施工。圆弧墙角、门、窗框等一般采用专用氧化铝型材制造地面可采用环氧自流坪地坪或高1级耐磨塑料地板,有防静电要求的,可选用防静电型。送回风管道用热渡锌板制成,贴净化保温效果好的阻燃型PF发泡塑胶板***送风口用不锈钢框架,美观清洁,冲孔网板用烤漆铝板。
无尘车间在设计时一定要符合生产工艺过程的要求。不管是上工序还是下工序,两者间的运输距离要短,尽量避免迂回和往返运输。车间的地面要用坚固、防滑、易清洁、不渗水、耐腐蚀的材料铺制;墙面则要铺有2米以上的墙裙,墙面用耐腐蚀、易清洗消毒、坚固、不渗水的材料铺制及用浅色,防水、***、不易脱落、防霉、可清洗的材料覆涂。
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