十万级净化车间标准十万级净化车间标准一：细颗粒物较大容许数≥0.5μm的粒子数不超过350万只，≥5μm的粒子数不超过2万只。十万级净化车间标准二：微生物菌1种较大容许数，落菌数不超过500个/m；地基沉降菌数不超过10个/培养液。十万级净化车间标准三：压差。同样清洁级别的洁净室压差保持一致，针对不一样清洁级别的邻近洁净室中间压差要≥5Pa，洁净室和非洁净室中间要≥10Pa（关键是以便确保气体从清洁区流入非清洁区，防止气旋倒流）。

无尘车间生产对于湿度控制是非常重要的条件之一，无尘车间、洁净室运作过程中一个常用的环境控制条件是相对湿度。半导体无尘车间、洁净室中的典型的相对湿度的目标值大约控制在30至50%的范围内，允许误差在±1%的狭窄的范围内，例如光刻区或者在远紫外线处理(DUV)区甚至更小而在其他地方则可以放松到±5%的范围内。

无尘车间的洁净度往往受到气流的影响，即人、机器隔间、建筑结构等所产生的尘埃之移动、扩散受到气流的支配。无尘车间所利用过滤器过滤空气，其尘埃的收集率达99.97~99.99995%之多，因此经过此过滤器过滤的空气可说十分干净。然而洁净室内除了人以外，尚有机器等之发尘源，这些尘埃一旦扩散便无法保持洁净空间，因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。为了防止再次进入和往返作业对无尘车间造成交叉污染，人员在作业中途和作业宽毕均应按规定的顺序退出无尘车间。

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