无尘车间的特性
1、无尘车间是空气的洁净度达到一定级别的可供人活动和生产的空间,其功能是能控制微粒的污染。这表明无尘车间的洁净不是一般的干净,而是达到了一定的空气洁净度级别,在我国制药行业,净化车间必须具有控制微粒污染、抵抗外界干扰的能力。
2、无尘车间是一个多功能的综合整休,实验室洁净车间,多功能体现在以下两个方面:
(1)多***--建筑、空调、净化、纯水、纯气。
(2)多参数--空气洁净度、***浓度以及空气的量(风量)、压(压力)、声(噪声)、光(照度)。
无尘车间洁净室气流流型的设计应符合下列规定:1、无尘车间洁净室的气流流型和送风量应符合下表所示的要求,空气洁净度等级要求严于4级时,化工洁净车间,应采用单向流,洁净车间建设,空气洁净度等级为4级-5级时,应采用单向流,空气洁净度等级为6级-9级时,应采用非单向流。2、无尘车间洁净室工作区的气流分布应均匀3、无尘车间洁净室工作区的气流流速应符合生产工艺要求。
无尘车间生产对于湿度控制是非常重要的条件之一,无尘车间、洁净室运作过程中一个常用的环境控制条件是相对湿度。半导体无尘车间、洁净室中的典型的相对湿度的目标值大约控制在30至50%的范围内,允许误差在±1%的狭窄的范围内,例如光刻区或者在远紫外线处理(DUV)区甚至更小而在其他地方则可以放松到±5%的范围内。
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