无尘车间是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、***空气、***等之污染物排除，洁净车间建设，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计的房间。无尘车间室内空气经处理后，所含微粒数少于一定数量要求，一般分十万级、万级、千级等，即室内每立方米空间的微粒数不大于十万、一万、一千个……目前，无尘车间已经在电子、光学、精密仪器、注塑等行业里广泛使用。

无尘车间的洁净度往往受到气流的影响，即人、机器隔间、建筑结构等所产生的尘埃之移动、扩散受到气流的支配。无尘车间所利用过滤器过滤空气，其尘埃的收集率达99.97~99.99995%之多，因此经过此过滤器过滤的空气可说十分干净。然而洁净室内除了人以外，洁净车间安装，尚有机器等之发尘源，这些尘埃一旦扩散便无法保持洁净空间，因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。为了防止再次进入和往返作业对无尘车间造成交叉污染，人员在作业中途和作业宽毕均应按规定的顺序退出无尘车间。

无尘车间生产对于湿度控制是非常重要的条件之一，洁净车间装修，无尘车间、洁净室运作过程中一个常用的环境控制条件是相对湿度。半导体无尘车间、洁净室中的典型的相对湿度的目标值大约控制在30至50%的范围内，允许误差在±1%的狭窄的范围内，例如光刻区或者在远紫外线处理(DUV)区甚至更小而在其他地方则可以放松到±5%的范围内。

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