浙江游星电子科技有限公司（原开化县模具厂）创建于1991年，是一家集研发，生产、服务为一体的高新技术企业，***生产

【游星轮】【研磨盘】【修正轮】【中心轮】等精密研磨抛光设备附件。

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针对正多边形的待打磨物件，使用时，首先转动旋环带动连杆通过扣柱将夹杆拉开，然后将待打磨物件放入，在拉紧弹簧作用下，夹杆自动收紧，完成夹紧。从而达到对大小不同的待打磨物件进行加工的目的。

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单面研磨的加工工艺复杂、加工效率低下，在转运换面研磨过程中，由于移位误差的存在导致研磨两面后表面的厚度差异大，生产的不良率高，甚至在加工时蓝宝石片在转运过程中容易从陶瓷盘上面掉下来，导致蓝宝石片报废。

以4寸的蓝宝石片面板研磨为例，单面研磨一次只能生产24片，而且完成研磨工序需要两面加工2次(A、B面各I次)，通常表面5点的厚度差异在0.015-0.020mm,离工艺要求的5点厚度差异(0.003-0.005mm之间)要求很大。

FR-4环氧玻璃纤维板（环氧板），主要材料为进口半固化片，颜色有白色、***、绿色、常温150℃ 下仍有较高的机械强度、干态、湿态下电气性能好、阻燃、用于电气、电子等行业绝缘结构零部件,采用进口原料、国产压机及标准工艺精心制造；

主要的规格有1000*2000 mm 1020mm*1220mm ，因为有原材料的优势，保证了质优价廉、及时交货，在国内外拥有稳固的客户群，并享有很高的声誉。

在研磨晶圆背面的过程中，会先在晶圆的功能面上覆盖一层保护胶带(BG tape)，以避免在研磨晶圆背面过程中产生的杂质造成晶圆功能面污染，以及避免晶圆功能直接与研磨设备(如用于固定晶圆的吸盘)直接接触而造成晶圆功能面受损，进而降低形成的芯片质量。结果表明,在游离磨料研磨加工中,对于表面形貌为脆性断裂凹坑或其与塑性沟痕的组合,研磨工艺参数和研磨盘材料对加工效果有明显的影响,可以获得高的平面度和较好的表面质量,但是加工效率低,陶瓷薄件易破碎,成品率低。