河北圆形研磨盘制作推荐厂家,游星电子欢迎咨询
作者:游星电子2020/8/29 3:21:16






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游星轮是应用在玻璃,镜片,硅片,硬盘等各种平面抛光工序的夹具,又被称为抛光治具,抛光垫等



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由于化学机械抛光方式需要化学作用与机械作用相匹配,因此涉及8种主要参数,分别为抛光液配比、抛光液流量、SiO2胶体粒径、抛光布型号、抛光盘转速、内外齿圈转速、抛光压力、抛光时间。



随着半导体材料技术的发展,对硅片的规格和质量也提出更高的要求,适合微细加工的大直径硅片在市场的需求比例将日益加大。耐磨性强:以13B游星轮实际工作为例,连续公所8500转,表面磨损仅为0。目前,硅片主流i产品是200mm,逐渐向300mm过渡,研制水平达到400mm~450mm。据统计,200mm硅片的***用量占60%左右,150mm占20%左右,其余占20%左右。


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