浙江游星电子科技有限公司（原开化县模具厂）创建于1991年，是一家集研发，生产、服务为一体的高新技术企业，***生产

【游星轮】【研磨盘】【修正轮】【中心轮】等精密研磨抛光设备附件。

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随着半导体材料技术的发展，对硅片的规格和质量也提出更高的要求，适合微细加工的大直径硅片在市场的需求比例将日益加大。目前，硅片主流i产品是200mm，抛光研磨盘，逐渐向300mm过渡，研磨盘生产，研制水平达到400mm～450mm。据统计，200mm硅片的***用量占60%左右，150mm占20%左右，其余占20%左右。

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将蓝宝石产品放置在双面铜盘研磨机的游星轮型腔内，游星轮上的轮齿分别与双面铜盘研磨机的齿圈和太阳轮啮合，研磨盘报价，并在蓝宝石产品上下表面涂抹研磨切削液

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传统的抛光机会选择与中心齿轮和外周齿轮间距相匹配的游星轮，使游星轮在中心齿轮和外周齿轮之间转动，并且游星轮在抛光机上转动的同时发生自转，从而保证光学器件的均匀打磨，但在使用9B型双面抛光机加工大面积的工件时(加工方法请见本申请人之前提交的“大基片游星轮”申请)，由于必须将游星轮的中心作为转动中心，因此仅能实现游星轮的自转，无法使光学器件得到均匀打磨。

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