微孔注入法
通常微孔注入法, 但需要专门设备。在微通孔注入系统中, 影响通孔填充质量的主要因素包括注入压力、注入时间、填充浆料黏度和LTCC 瓷带和通孔填充掩模版之间的对准情况。一旦确定了适合整个制作过程的参数, 就可以在几秒钟之内在LTCC 生瓷带层上填充几千个通孔。关注微孔金属化的未填、过填和少填。未填是没有填入浆料的通孔, 或只填了部分导体浆料。未填孔可以通过逆光看到, 且有时不需显微镜的帮助。过填指通孔周围的浆料超出了通孔范围。浆料的超出量取决于孔径和孔距。少填指通孔中虽无空隙但未填满浆料, 少填的通孔不能通过逆光发现。
低温共烧陶瓷与其他集成技术相比
具有多样性的材料配比度,具有一种材料包含不同的介电常数,这样可以使其变化范围增大,材料具有良好的电性能、高频宽带传输特性;电路板的叠层生产,可以减小导体的电长度,具备生产高密度和复杂结构电路,目前可实现线宽10 μm,层距20 μm的加工工艺;材料还具备大电流工作特性,有很好的兼容性,大大地提高了器件的稳定性能;具有非连续的生产过程,可提高生产效率,缩短生产周期,减小成本
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