洁净室施工及验收规范：建设项目二：HEPA为万，10万级洁净动荡房新建，改建项目空调系统鼓风机终端这款产品。可以净化空调系统广泛应用于电子工业，精密机械，冶金，化工等工业和，制药，食品等部门。此装置由静压室，过滤器，铝合金制的扩散板等标准法兰接口，吸引人的外观，结构简单，使用可靠的。这是具有安装的过滤器的优点，过滤器或罐使用机械压缩密封装置，以确保无泄漏空气安装，密封可靠，良好的净化效果的洁净室和易于更换内的型空气出口，一般去污可以是应用。洁净室的无论在外部大气条件下，其可以全部具有室维持原设定的洁净度要求，温度，湿度和压力的性能特性的变化。洁净室的主要作用是控制所述植物材料（如硅芯片等）的温度和洁净空气的湿度以与气体的接触生存，所以该植物原料可以在工厂，制造，洁净室的空间中一个良好的环境也是我们所说的洁净室。所谓无尘车间指的是把室内空间中的***物质、***空气等污染物排除在一定空间外，并控制该空间的温度、洁净度、压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电。

10级：主要用于带宽小于2微米的半导体工业。其空气净化要求仅次于1级，并且我国半导体技术也在发展之中，在未来对洁净度的要求更加高。1级：主要应用于电子工业，这是目前对净化工程要求的环境，集成电路要求的精度要达到亚微米。随着微电子工业技术领域的突飞猛进，对洁净室的要求越来越高。及时生产间内的例子直径仅有1微米，也会使产品寿命受到影响。净化工程的一般施工程序：粉尘作业，无尘作业后，不允许交叉作业。 否则会影响项目的质量。 也就是说，在完成所有粉尘产生操作之后，可以进行无尘操作。

洁净室中的温湿度控制

洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到 人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。1级：尘埃易使芯片失效或者稳定性下降，当金属尘埃落于集成电路上时，就可能造成短路。当空气中的酸性离子落在电路上时，可能将电路腐蚀，因此净化空调系统对微电子工业而言至关重要。此外，液晶、光纤的生产也需要1级洁净度的要求。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。

具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻***工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。设计净化系统***的原则是相邻二级过滤器的效率不能太接近，也不能相差太大。一般采用初效、中效、亚(或)三级过滤器。也可分四级，增加一级过滤器。现在我们***的净化工程已经在朝着节能的方向发展了，除了***人士以外，其他人很少知道净化工程的耗能量特别大，时候普通写字楼的20倍，比美国更发达***高出了15%。看到这些令人心惊的数字，我们***的科学家们从节能的角度出发从根本上出出发，设计出能够节省的相关设备。