洁净工程系统主要系统组成
地面系统:一般采用环氧树脂洁净地面。 围护结构系统:简单说是顶、墙、地三部分,即组成三维密闭空间的六个面。往细的说包括门窗、装饰圆弧等;
风管系统:包括送风、回风、新风、排风管道、末端及控制装置等;空调系统:包括冷(热)水机组(包括水泵、冷却塔等)(或风冷管道机级等),管路、组合式净化空调箱(包括混流段、初效段、加热段、制冷段、除湿段、加压段、中效段、静压段等)。
洁净室必须具备的条件
送风洁净度:要保证送风洁净度符合要求,关键是净化系统末级过滤器的性能和安装。要保证送风洁净度,仅有合格的过滤器是不够的,还要保证:a.运输、安装过程不损坏过滤器;b.安装严密。(3)工程所用的主要材料、设备、成品半成品均须符合设计的规定,并有出厂合格证明或质量鉴定证明文件,没有出厂合格证明或对质量有怀疑时,必须进行检验,符合要求后方可使用。要做到,则要求施工安装人员训练有素,既要有安装净化系统方面的知识,又要具备较熟练的安装技能,否则将难以保证不损坏过滤器。
洁净空间的技术要求:围护结构框架要求:①框架应预成并力争产品化,并可灵活装配;②框架变形量要符合***标准;③保证足够的强度和刚性,表面处理应满足相关要求。围护复合面板要求:①复合板的表面应符合GB/T 29468的要求;②基板宜为金属或树脂板材,基材应选用不燃性能为A1级的不燃材料;③用作外墙和吊顶时,在使用过程中表面不应产生冷桥和结露现象;④应适应防护、电磁屏蔽等特殊要求,围护模块应适应性的一体化定制预成。洁净空间的技术要求:连接与转接件要求:①围护结构用的转接件与连接件应有足够的可靠性与承载力;②墙与顶、墙与墙、顶与顶之间的交接处应有合理的结构,保证密封,防止开裂;③易于拆卸和***,以便于进行清洁、检查和试验,所有可拆卸的连接件在拆卸后应易于用手工连接和紧固。密封件的要求:①拼缝一般采用嵌入式材料密封,密封材料烟气毒性的安全级别不低于GB 20285-2006规定的ZA12级;具有离火自熄性,自熄时间不大于5s;②围护结构间的缝隙和在围护结构上固定、穿越形成的缝隙,各种管路、线路与围护结构的接口应密封;③门与门框、柜体、控制复合板等之间的密封应符合GB 50591-2010 《洁净室施工及验收规范》具体条款的相关要求;④密封胶条公差为±0.3mm, 收缩率:≤0.5%。具备弹性回复能力。洁净工程的发展:20世纪80年代大规模集成电路和超大规模集成电路的迅速发展,大大促进了洁净工程的发展,集成电路生产工程从64K位到4M位,特征尺寸从2.04m到0.84m。当时根据实践经验,通常空气洁净受控环境的控制尘粒粒径与线宽的关系为1:10,因此洁净工程工作者研制了超空气过滤器,可将粒径gt;0.1pm的微粒去除到规定范围。根据大规模、超大规模集成电路生产的需要,高纯气体、高纯水和高纯***的生产工程也得到很快的发展,从而使服务于集成电路等高工程产品所需的洁净工程都得以高速发展。空调系统:包括冷(热)水机组(包括水泵、冷却塔等)(或风冷管道机级等),管路、组合式净化空调箱(包括混流段、初效段、加热段、制冷段、除湿段、加压段、中效段、静压段等)。
手是交叉污染的媒介,洁净厂房的工作人员在接触工作服之前应洗手,洗手的龙头不应直接用手开启,可采用感应式或肘式洗手龙头。洁净厂房内的生产工艺对环境有较高的要求,需要对其生产车间的空气悬浮粒子浓度进行控制,同时,还需保证一定的温度、湿度和压力。级别的当属航天航空的航空仓,基本是属于1级,属于特殊领域,面积相对较小。为了进一步防止室内洁净空气通过排水管向外渗漏,同时也为防虫防鼠,洁净区排水出户管末端在接到室外检查井之前,往往还增设水封井。
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