无尘车间测试标准

为了证明无尘车间工作得令人满意,必须证明其满足了下述准则的要求：

1.无尘车间的送风量充足，足以稀释或消除室内产生的污染。

2.无尘车间内的空气是从洁净区向洁净程度差的区域流动，受污染空气的流动达到程度，空气在门口处和室内建筑中的流动方向正确。

3.无尘车间的送风不会显著增加室内的污染。

4.无尘车间室内空气的运动状态可保证密室内没有高浓度聚集区域。

如果洁净室达到了上述这些准则的要求，就可以测量其粒子浓度或微生物浓度（必要时），以确定其达到了规定的洁净室标准。

无尘车间换气次数与洁净度的关系？

换气次数是通入室内的洁净空气量相当于房间体积的倍数，其单位是次/h。如果一小时内通入的空气量和房间体积一样，换气次数就是1次/h，以此类推，换气次数是乱流洁净室决定洁净度水平的参数。

换气次数越大，洁净度级别越高。

换气次数可以根据要求的空气洁净度级别、室内人数、房间面积、室内其他发尘量和新风比通过公式求出来，特别是动态条件下更需要针对具体条件进行计算。

厂房无尘车间的排风系统

排风风管穿过防火、防爆的墙体、顶棚或楼板时，应设防护套管，其套管钢板厚度不应小于1.6㎜。防护套管应事先预埋，并可靠固定；风管与防护套管之间，应以不燃材料封堵。排风风管安装，应符合下列规定：输送含有可燃、介质的排风风管或安装在有***环境的风管应设有良好接地；排风风管穿越洁净室（区）的墙体、顶棚和地面时，应设套管，并应作气密构造；排风风管内严禁其他管线穿越；室外排风立管固定拉索，严禁与避雷针或避雷网连接。无尘车间是指控制产品(如硅片)所暴露的大气的清洁度和温度湿度，以便产品能够在良好的环境中生产和制造。

无尘车间的测试

过滤器检漏：对过滤器及其外框要进行检验，以保证悬浮污染物不会穿过：（1）损坏了的过滤器；（2）过滤器与其外框间的缝隙；（3）过滤器装置的其他部位而***室内。

隔离检漏：这项测试是为了证明悬浮污染物不穿过建筑材料***洁净室。

其他测试：除了上述这些污染控制方面的测试以外,有时还必须进行下述一项或若干项测试：温度—相对湿度—室内加热与冷却容量—噪声值—光照度—振动值