无尘室的维护与管理
无尘车间是污染控制的基础,是一间具备了空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间。6、整个工程施工好后的一个验收,检测有无达到级别,设备是否正常运行。在无尘室极高的硅晶片制造链中,必须是一个无污染源的环境、超洁净的车间,硅晶片零件才能够正常批量生产。 我国的无尘室发展起步与国外相比较晚,近二十年来,随着越来越多外企在国内开办或合资开办企业,一些高新技术对生产环境的要求提高,为了提升竞争力,各个行业也开始追求无尘室的质量。
净化工程的建筑要求和施工标准
无尘车间结构材料
1、洁净室墙、顶板材料一般采用50mm厚的夹芯彩钢板、净化专用的氧化铝型材制造。门采用净化密闭门,窗采用铝合金玻璃固定窗。
2、地面采用环氧自流平或耐磨塑料洁净地板。
3、净化通风管道选用镀锌薄钢板制作,并采用“PEF”阻燃型的保温板做保温。
4、送风口用不锈钢框架,美观清洁,冲孔网板用烤漆铝板。
技术参数
换气次数:十万级10-15次/小时;
万级15-25次/小时;
千级50-52次/小时;
百级操作台断面风速0.25-0.35m/s;
压差:主车间对相邻洁净房间≥5Pa;洁净房间对非洁净区≥10Pa;
温度:冬季gt;16℃±2℃;夏季 lt;26℃±2℃;
相对湿度:45-65%(RH);
噪声≤65dB(A);
新风补充量:总送风量的20%-30%;
照度:≥300Lux
无尘车间中不可忽略的细节
对于企业来说,厂房的选址、车间的布局、设备的选择以产品的质量管理等这些问题,都是保障企业生产环境达到洁净等级的首要要求,因为整个平面的设计,都是按照厂房布局,加工工艺流程而设计的,防止污染和交叉污染等环境问题的重要措施。此时,在室内外静压差的作用下,通过围护结构不严密处向外渗漏的风量与机械进出风量的差额相等。因此,在净化工程的设计和实施中,一些小细节也是至关重要的,有句古语“细节决定成败,态度决定高度”,否则花费财力、精力建立的净化工程会因为一个空调的换气次数或者风管的保温,达不到预期效果,影响产品的质量,耽误施工时间。
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