洁净室达到洁净度等级要求的前提条件

1、送风洁净度。要保证送风洁净度,安装的气密性要好，液槽密封必须保证液槽接缝严密和整体框架都处于同一水平面上.负压密封就是使过滤器与静压箱和框架接缝的外周边处于负压状态.

2、气流***。洁净室的气流***与一般空调房间有所不同,它要求将干净的空气首先送到操作部位,它的作用在于限制和减少对生产产品的污染,当气流向回风口流动时要使空气中的灰尘能有效的带走.根据不同的洁净度要求,选择不同的送、回风方式.

工业洁净室电气设备

近年来，以电子设备为代表的高技术产业飞速地向前发展着，在这些***的技术领域中，日新月异地进行技术革新，并把产品的微细化、高质量化、超精密化作为目标，而且为了谋求生产的高质量而建造高质量的洁净室。

用于超大规模集成电路（VLS1）、钟表、精密机械、光学仪器及电子仪器等制造、加工或装配、食品生产的各类洁净室，根据生产用途不同，而使用各种各样的设备。超大规模集成电路制造工厂的生产设备，因为有下述各种情况，必须精心设计、精心施工。

空气洁净度采样点确定：

应下式计算少采样点：NL = √A ，采样点应均匀分布于洁净室（区）的面积内，并位于工作区高度。在清洁过后进行室内悬浮粒子的测试，如果测量的数值出现明显的下降趋势，此时说明污染源就是这种物质，需要进行深度清理。每个采样点的每次采样量：对于单向流洁净室，采样口应对着气流方向，对于非单向流洁净室，采样口宜向上。采样速度宜接近室内气流速度。室内测试人员必须穿洁服，不得超过3人，应位于测试点下风侧并远离测试点，并应保持静止。进行换点操作时动作要轻，应减少人员对室内洁净度的干扰。