空气分子控制主要应对空气分子污染(AMC)，这类污染的控制要比粒子污染困难许多。、咬口时，手指与辊壳的距离不应小于5cm，手不允许放在咬板机轨道上，使板保持稳定。说到粒子污染的控制，先要确定粒子的粒径与个数，然后才能进行相应的设计。只是对于空气分子污染，需要控制的除了芯片线宽外，还有工艺、设备、材料与传送系统等，所以这类污染的控制一直就是业界的难题。总体上来说，正是因为很难有效控制空气分子污染，致使该问题成为了影响相关产品成品率的重要问题。

战后半个世纪是现代科技高速发展的时期,人类经过半个世纪的努力,无论在农业、工业、、生物、宇宙探索、环境以及基本理论研究等方面,都取得了伟大的成就。如果是涉及到电子方面的实验室，或者是有精密仪器的实验室，都不允许室内有静电存在。材料的高纯度、产品的及高可靠性是这一时期科技发展的特点。超微细加工、装配和测试,对诸如空气洁净、防微振、防电磁干扰、低噪声以及对超纯水、超纯气体等的严格要求,使由此产生的环境控制学得到了迅速发展。控制微振动即防微振,是环境控制的一个重要组成部分。

为了满足集成电路日益精细的加工要求,各国在微污染控制技术领域内投入了可观的人力、物力进行系统研究,取得了大量科技成果,涌现了一批高科技产品,诸如超过滤器(过滤效率达99.9999%)的问世及ISO3级(0.1μm)洁净室的建立;超纯水及超纯气体的应用;隧道式洁净室及微环境系统洁净室的出现和使用,大大降低了污染。在防微振领域,从厂房结构形式、动力设备布置及隔振措施到精密设备防微振措施等方面独特的建树,为集成电路生产提供了一个优良的环境。进行精密仪器室设计的同时，也要做好相关配套化学处理室的设计工作，因为这在保护仪器和加强管理上是非常必要的。