具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。如果密封带分别设置在门盒和门风扇中，则必须注意两者之间的良好连接，减少密封条在门缝中的中断间隙。例如在大规模集成电路生产的光刻***工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。

在实验室这种***性极高的场合，外观反而是其次的要求。同时，实验室的装修也不会去强调美观时尚或者温馨的效果，而是要显示出***化的特点。在防微振方面,要求工厂建造在远离铁路、机场、公路干线且绿化较好的地区,厂区总平面布置要求单建的动力站房与洁净厂房之间留有足够的距离。可以选择纯色PVC地板或者是仿石材的PVC地板，外观效果都比较合适。对于实验室地坪的施工，也有大部分的实验室采用防腐环氧地坪。环氧防腐地坪既能应对高强度的叉车作业，而且具有很强的抗化学腐蚀性，满足实验室中的特殊要求。

消声器对气流的阻力应小,装置消声器后增加的阻力损失要控制在机组正常运行容许范围内。热泵机组的循环流程有几种形式，但不论何种，系统中除装有制冷系统中的四大元件外，还需装有四通换向电磁阀、单向阀等，使制冷剂的流动方向在制冷或制热状态时能得到控制。其构造形式和吸声材料的布置表画要平整,使气流通畅无阻。消声器壳体要有一定的刚度并要考虑隔声(包括消声器检查孔),特别当消声器设在机房中或设在有噪声源的地方时,更要考虑隔声。当消声器需做成若干米长时,好分成2~3m一节的分段装置,以提高消声效果。

洁净室风管做法、标记的基本线有直角线、垂直平分线、平行线、角平分线、直线平分线和圆平分线。展开法应采用平行法、辐射法和三角形法。为了满足集成电路日益精细的加工要求,各国在微污染控制技术领域内投入了可观的人力、物力进行系统研究,取得了大量科技成果,涌现了一批高科技产品,诸如超过滤器(过滤效率达99。根据图纸和详图管的不同几何和规格，分别画线和展开。在切割前必须对材料进行审核，以免出错。根据带下划线的形状用机械剪刀和手动剪刀切割。切割时，严禁将手伸入机械压板间隙。使用固定的振动剪，双手握住钢板，手从刀口处不得小于5cm，力应该是均匀的和适当的。