洁净***室和洁净辅助用房内必须设置的插座、开关、器械柜等均嵌入墙内，与墙面平齐。除可利用局部照明外，必要时也可利用自然光，当平面上有外廊时就可以做到这一点。 ***室和辅助用房内不得有明露管线。管线隐蔽工程在管线施工完成并进行试压验收后进行。管线穿墙、穿吊顶处的洞口周围用密封材料嵌缝修补平齐、密并清洁。隐蔽工程的检修口周边应粘贴气密性密封垫。回风管及回风口处理：图纸设计为侧墙面回风，为了保证墙面平整，不增加凹凸面，将回风立管移至***室的两斜对角处。

空气分子控制技术也受到了国内实验室洁净工程行业的重视。其中理化分析实验室主要对所受到的原料、包装材料、中间体和成品进行理化鉴别、含量测定和其它检验，以确保它们符合法定要求和企业内部的质量标准。眼下，相关企业与技术团队已经开始从事此方向的研究。湍流通风洁净室：在这种洁净室设计中，房间通过天花板上的空气扩散器接收清洁的过滤空气，与室内空气混合，然后由人和机器产生的空气污染物被墙壁底部的空气净化装置清除。单向流洁净室：在这种洁净室设计中，高1效过滤器安装在整个天花板或墙壁上，为房间提供空气。以单向方式扫过房间，它从地板出，清除房间内的空气污染物。

为了满足集成电路日益精细的加工要求,各国在微污染控制技术领域内投入了可观的人力、物力进行系统研究,取得了大量科技成果,涌现了一批高科技产品,诸如超过滤器(过滤效率达99.9999%)的问世及ISO3级(0.1μm)洁净室的建立;超纯水及超纯气体的应用;隧道式洁净室及微环境系统洁净室的出现和使用,大大降低了污染。根据《洁净厂房设计规范》规章规定，对工作认为比较合适的低照度作了统计，其结果略高于150lx。在防微振领域,从厂房结构形式、动力设备布置及隔振措施到精密设备防微振措施等方面独特的建树,为集成电路生产提供了一个优良的环境。