物理净化方式①　机械过滤：HEPA网，洁净室工程公司，中文意思是高4效空气过滤器，达到HEPA标准的过滤网，淮南洁净室，对于0.3微米的有效率达到99.998%，HEPA网的特点是空气通过，但小颗粒不能通过。HEPA过滤网由一叠连续前后折叠的亚玻璃纤维膜组成，洁净室施工，以形成用于放置和支撑过滤边界的波状垫片。②　吸附过滤即活性炭。活性炭是一种多孔含碳材料，具有高度发达的孔结构。

常用消声器的种类有：管式阻性消声器、片式阻性消声器、折板式阻性消声器、声流式阻性消声器、弯管式阻性消声器、迷宫式阻性消声器、蜂窝式阻性消声器、微穿孔板消声器、扩张式消声器、内接管扩张式消声器、共振腔消声器、阻性一扩张式复合型消声器、阻性-共振腔复合型消声器、降1压扩容消声器等。消声器设计的基本要求。抗性消声器的消声原理是：它不直接吸收声能，而是借助管道截面的突出扩张或收缩。

空气分子控制主要应对空气分子污染(AMC)，洁净室工程，这类污染的控制要比粒子污染困难许多。说到粒子污染的控制，先要确定粒子的粒径与个数，然后才能进行相应的设计。只是对于空气分子污染，需要控制的除了芯片线宽外，还有工艺、设备、材料与传送系统等，所以这类污染的控制一直就是业界的难题。总体上来说，正是因为很难有效控制空气分子污染，致使该问题成为了影响相关产品成品率的重要问题。

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