高温炉工作流程介绍

使用高温炉要严格按照安全操作流程来做，确保人员的安全和避免炉体，工件的损坏。

一、 工作前的流程

1、 检查炉内是否干净，清理杂物，确保炉内干净。

2、 检查炉壁，炉底板是否有破或裂等损坏。

3、 电阻丝和热电偶引出棒的安装紧固情况，检查仪表是否正常。

4、 检查电阻炉炉门开关是否灵活。

5、 确保各项正常以后，开始放工件。

高温炉操作规程大致可分为以下几点：

一、装料

1.将石墨坩埚放置于输送车平台上，使用限位杆断定其方位，五大操作规程顺次装入硅料。

2.拔出限位杆，输送车开关打至 IN，顺次操作 UP - FORWARD - BACK - DOWN，将坩埚装入炉膛内，并断定输送车会到初始方位。

3.装入石墨盖板，拧紧石墨螺栓，关紧炉门

二、 抽气

1.查看炉门是不是关紧，真空体系是不是密封

2.置 DP 按钮于 DP ON，翻开干式真空泵，翻开真空计开关 P1G1，翻开干式真空泵 。阀门，开端抽气测验走漏率，

3.当压力表指示为 50Pa是封闭真空泵阀门(非真空泵)露铝≤1Pa/min，翻开Ar阀门充Ar(20L/min)。

4.加热 先翻开水环泵 再按 RUN，开端技术加热。

高温炉的内部材料要注意什么

首先就是要注意好材料的抗温能力,很多材料面对高温的时候是会容易出现变形的问题的,这对于设备的质量是不好的作用,因此我们在操作的时候要注意好,这样才能充分的保证设备在使用的时候不会有不利的影响.其次在生产高温炉的时候也是要注意好内部材料的强化处理的,这是为了可以充分的保证材料在使用时候的强度,为了可以充分的保证强化效果,在处理的时候一定要注意好,这样高温炉在生产的时候就可以保证使用的时间了.