一般半导体气体的分类如下。高纯气体充装的抽空操作一、开启真空泵,同时抽空汇流排,负压值≥0。(1)、腐蚀性/毒性: HCl、BF3、WF6、HBr、SiH2Cl2、NH3、PH3、Cl2、BCl3 …等。(二)、可燃性: H2、CH4、SiH4、PH3、AsH3、SiH2Cl2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO…等。(三)、助燃性: O2、Cl2、N2O、NF3…等。(四)、惰性: N2、CF4、C2F6、***F8、SF6、CO2、Ne、Kr、He…等半导体气体多对******。 由于这些明显的***,对系统设计的安全要求特别高。
瓶装高纯氦气注意事项
液氦的温度为-268.9℃,与皮肤接触能引起严重冻1伤。
高纯度气体:
纯度气体的应用非常广泛的领域,在半导体工业中,高纯度的氮气,氢气,ya气,氦气作为载气和保护气体;高纯度的气体可以被配制成的信心的混合气体。
高纯气体发展:
高纯度气体是工业气体,近年来,随着国1防工业,科研,自动化技术,精密的检测,特别是微电子技术的发展,并开发出新的范围。
高纯气体对于运输的管材要求有哪些
高纯气体是现代工业上使用较多的一种气体,今天小编给大家分享下对于运输管材它有着哪些要求?
在不锈钢熔炼制材过程中,每吨可吸收大约200g的气体。不锈钢材加工完毕,不只其表面粘有各种污染物,而且在其金属晶格内也吸留有必定量的气体。当管路中有气流通过期,金属所吸留的这部分气体会从头进入气流中,污染纯真气体。
高纯气体对于运输的管材要求有哪些
使得管材内表面金属也会发作必定的粉末,这种金属粉尘粒子相同污染管内纯真的气体。注意使用高纯度的氧气在使用高纯度的氧气瓶和贮存过程中,以避免严重的振动和冲击。管材的这一特性至关重要,为了保证运送的气体的纯真度,不只要求管材内表面有一个很高的润滑度,而且,应当具有很高的耐磨特性。腐蚀功用较强的气体时,有必要选用耐腐蚀的不锈钢管材作配管,不然,管材将会因为腐蚀而在内表面发作腐蚀斑。
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