普通气体电子工业中普通气体的分类:普通气体，又称本体气体:氢( H2)、氮( N2)、氧( O2)、ya( A2)等。特殊气体( Specialty gas )主要为SiH4 PH3 B2H6 A8H3 CL HCL CF4N h3po cl3si h2 cl2si HCl3n h3bcl3s if4c l3co2f6n2o2hfhbrfsf6...等等。 特殊气体的种类通常分为腐蚀性、毒性、易1燃性、助燃性、惰性等。特别是SiH4等一些气体具有自燃特性。 一旦发生泄漏，就会与空气中的氧反应激烈，开始燃烧。 AsH3也***性。25MPa的压力不小于多，汽缸阀应关闭，以确保气体的质量和使用安全。 轻微的泄漏可能会伤害人的生命。

高纯气体充装的抽空操作

一、开启真空泵，同时抽空汇流排，负压值≥0.1MPa，继续抽真空15~30min，关闭抽空管道截止阀后，停止真空泵

二、缓慢开启抽空总阀，不要让泵油外溢

三、真空表指示值lt;-0.1MPa

四、抽空5~15分钟后

五、关闭抽空总阀

六、开启通气阀，不要抽空管路过油

七、关闭真空泵，抽空结束。

高纯三氟化氮的基础介绍及行业应用

喷水雾减慢挥发（或扩散），但不要对泄漏物或泄漏点直接喷水。抽排（室内）或强力通风（室外）。漏气容器不能再用，且要经过技术处理以清除可能剩下的气体。由于中含多少取决于环境温度，也就是说冬夏两季中含的差距较大，这就是为什么客户采用相同浓度的冬夏两瓶标气，有很大的误差的原因。***信息：化学***品安全管理条例（1987年2月17日发布），化学***品安全管理条例实施细则（化劳发[1992]677号），工作场所安全使用化学***品规定[1996]劳部发423号）***。