洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。
.洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。
相通洁净室之间的门要开向洁净度级别高的房间1级:尘埃易使芯片失效或者稳定性下降,当金属尘埃落于集成电路上时,就可能造成短路。当空气中的酸性离子落在电路上时,可能将电路腐蚀,因此净化空调系统对微电子工业而言至关重要。此外,液晶、光纤的生产也需要1级洁净度的要求。湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。
相对湿度越高,粘附的难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产温度范围为35—45%。1级:主要应用于电子工业,这是目前对净化工程要求的环境,集成电路要求的精度要达到亚微米。随着微电子工业技术领域的突飞猛进,对洁净室的要求越来越高。及时生产间内的例子直径仅有1微米,也会使产品寿命受到影响。净化工程技术的兴起不过是上个世纪的事情,但今天净化技术发挥着重要作用则是有目共睹的。随着产品向着高、、尖方向发展,对净化车间的依赖度也越来越高。而随着净化技术的发展,建设净化车间的技术含量也越来越高,非***人士不能也。除了在生产领域,净化工程技术还会逐渐应用于家庭、公共场合,为人们提供更洁净的生活空间
10级:主要用于带宽小于2微米的半导体工业。其空气净化要求仅次于1级,并且我国半导体技术也在发展之中,在未来对洁净度的要求更加高。直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。净化工程在设计时,无论是新建还是重新改造的净化车间,都一定依照***相关标准、规范进行。
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