相对湿度越高,粘附的难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产温度范围为35—45%。1级：主要应用于电子工业，这是目前对净化工程要求的环境，集成电路要求的精度要达到亚微米。随着微电子工业技术领域的突飞猛进，对洁净室的要求越来越高。及时生产间内的例子直径仅有1微米，也会使产品寿命受到影响。净化工程技术的兴起不过是上个世纪的事情，但今天净化技术发挥着重要作用则是有目共睹的。随着产品向着高、、尖方向发展，对净化车间的依赖度也越来越高。而随着净化技术的发展，建设净化车间的技术含量也越来越高，非***人士不能也。除了在生产领域，净化工程技术还会逐渐应用于家庭、公共场合，为人们提供更洁净的生活空间

***洁净室包括***室、产科、婴***病房(NICU)、ICU(监护室)、烧1伤病房及解剖室、净化实验室、人工透析室、标本室等，其工程质量与医1疗质量有着直接而重要的关系。我国《洁净室施工及验收规范》(以下简称“规范”)强调，新风必须遵循三级过滤的原则。这是因为和空调系统相比，净化系统新风的尘浓负荷比高达 90% 以上，因此，为了运行质量必须强调新风三级过滤。现在***洁净***部的标准和规范中都已将此作为规定。另外，回风必须有过滤器，能放中效1好。设计人员只 有准确理解了“规范”的要求，才能使洁净室1大程度地满足***的功能要求。

设计人员要确保洁净室工程质量，还必须对***洁净室施工现场做认真地调研、考察，否则，设计出来的洁净室工程质量就会大打折扣。如在对某***洁净室做 含尘浓度检测时，突然发现尘浓普遍急剧上升，超标严重。工程人员首先想到的是过滤器风口漏，经检查，虽然发现确实有漏，但和检测出的尘浓数量不相当。根据 经验判断，这是新风口设计不当，由于设在 5 层楼顶上向下的新风口，其下方正好有一垃圾站，而该垃圾站有定期烧垃圾的习惯，大量浓尘正是来自新风口下方冒出的浓烟。这样的新风口位置，必然产生危及室 内洁净度的结果，无论后期施工质量如何，其洁净室的工程质量也很难达到要求，实际上这与“规范”中要求的新建洁净***室应远离污染源的总体要求是相违背 的。

工程质量控制要点

1.选择经过***培训的施工***

洁净室施工涉及装饰、暖通、电气和气体等***，施工人员须对洁净室施工规范、施工工艺、施工质量有认识，否则，施工质量很难得到保障。

2.洁净室内密封控制***

洁净室内密封控制***内容是围护结构的密封施工质量，如板材与板材之间应均匀涂密封胶，达到严密不漏风;洁净室内的嵌壁器械柜与墙体之间、壁板上安装 的插座、开关、烟感探测器、照明箱体及灯带、观片灯等都需要用密封胶进行密封，且器械柜中的各种管道和箱体之间也都必须采用可靠和有效的密封措施。