净化工程的一般施工程序:粉尘作业,无尘作业后,不允许交叉作业。 否则会影响项目的质量。 也就是说,在完成所有粉尘产生操作之后,可以进行无尘操作。排风系统有一般排风系统、有机气体排风系统、酸性气体排风系统、碱性气体排风系统等,净化车间设计时,要根据实际情况选择。1000级 一般只对尘埃浓度做要求,用于光学器件,仪器等高精仪器等
10000级,用于液压设备的生产,和一些食品饮料的生产。
100000级,这个级别比较的低,对净化度要求不是很高,主要在印刷厂,包装厂等。
洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。
.洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。
相通洁净室之间的门要开向洁净度级别高的房间1级:尘埃易使芯片失效或者稳定性下降,当金属尘埃落于集成电路上时,就可能造成短路。当空气中的酸性离子落在电路上时,可能将电路腐蚀,因此净化空调系统对微电子工业而言至关重要。此外,液晶、光纤的生产也需要1级洁净度的要求。湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。
相对湿度越高,粘附的难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产温度范围为35—45%。1级:主要应用于电子工业,这是目前对净化工程要求的环境,集成电路要求的精度要达到亚微米。随着微电子工业技术领域的突飞猛进,对洁净室的要求越来越高。及时生产间内的例子直径仅有1微米,也会使产品寿命受到影响。净化工程技术的兴起不过是上个世纪的事情,但今天净化技术发挥着重要作用则是有目共睹的。随着产品向着高、、尖方向发展,对净化车间的依赖度也越来越高。而随着净化技术的发展,建设净化车间的技术含量也越来越高,非***人士不能也。除了在生产领域,净化工程技术还会逐渐应用于家庭、公共场合,为人们提供更洁净的生活空间
洁净室施工质量控制可以分为3个阶段:即准备阶段、施工阶段和验收阶段。
(一)准备阶段质量控制要点
认真做好图纸会审和技术交底
充分领会设计意图,做好图纸会审和技术交底工作是保障洁净室施工质量的重要技术环节,发现和解决在施工中难以操作的技术难题,为保证洁净室施工质量打下坚实的基础。
施工中会出现各种矛盾,这需要施工方与设计、建设方合作,在保证洁净室施工质量的前提下进行合理变更。
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