洁净室净化工程固体制剂车间
固体制剂车间产尘量较大。如何防止固体制剂车间发生交叉污染呢?首先,选购的设备应有防护罩及携带有除尘装置;其次,要采取隔离措施,将其分成操作室和前室或操作室和辅机室。前室在平面布置上一般采用单机单室,辅机室可设在非洁净区,检修门设在走廊一侧。如压片、自动包衣、胶1囊分装等设备可采用此类分隔方法。减少空气中悬浮粒子的含量和有效地去除已存在的固体微粒子,始终都是制造过程控制的主要内容。对于有些不带除尘辅机设备又不密封的单机,如粉碎机、粉1剂或颗粒包装机,则可把隔离区内的排风经过滤后再送回隔离区,即形成自循环。在生产过程中,有些***引湿性强,当要求空气相对湿度低于50%甚至45%时,冷冻除湿很难达到要求。在许多除湿措施中,氯化锂转轮除湿较适用。除湿机可装在有特殊除湿要求的洁净室,以净化的空气作为该岗位低湿的保护性空气,自成一个循环系统。
1级:尘埃易使芯片失效或者稳定性下降,当金属尘埃落于集成电路上时,就可能造成短路。当空气中的酸性离子落在电路上时,可能将电路腐蚀,因此净化空调系统对微电子工业而言至关重要。此外,液晶、光纤的生产也需要1级洁净度的要求。悬浮在空气中的微生大都依附在尘埃粒子表面,若不除尘控制微生物粒子,***的质量就难保证。压力差的维持依靠新风量,这个新风量要能补偿在这一压力差下从缝隙漏泄掉的风量。所以压力差的物理意义就是漏泄(或渗透)风量通过洁净室的各种缝隙时的阻力。净化工程技术的兴起不过是上个世纪的事情,但今天净化技术发挥着重要作用则是有目共睹的。随着产品向着高、1精、1尖方向发展,对净化车间的依赖度也越来越高。而随着净化技术的发展,建设净化车间的技术含量也越来越高,非***人士不能也。除了在生产领域,净化工程技术还会逐渐应用于家庭、公共场合,为人们提供更洁净的生活空间
具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻***工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。2洁净度与换气次数房间的洁净度取决于单位时间的换气次数,因此要全1面考虑房间的工作性质、以及生产工艺要求,再决定净化系统的技术参数。10级:主要用于带宽小于2微米的半导体工业。其空气净化要求仅次于1级,并且我国半导体技术也在发展之中,在未来对洁净度的要求更加高。净化工程在设计时,无论是新建还是重新改造的净化车间,都一定依照***相关标准、规范进行。
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