无尘车间净化工程设计的步骤
评价人员/物料活动的布局
评价洁净室内的人员和物料活动是很重要的。洁净室工作人员是洁净室1大的污染源,一切要害工序应与人员出入门和通道阻隔。
要害的空间应该具有单一的拜访权限,以避免空间成为通向其他非要害空间的通道。一些制药和生物制药工艺简略遭到其他制药和生物制药工艺的穿插污染。工艺穿插污染需求细心评价原料流入道路和容器,资料进程阻隔,制品流出道路和容器。
断定空间清洁度分类
为了能够挑选一个洁净室的分类,重要的是要知道首要的洁净室分类标准和每个洁净分类的颗粒功能要求是什么。环境科学技术研讨所标准14644-1供应了不同的洁净度等级(1、10、100、1000、10000、100000)和不同粒径颗粒的允许数量。
空间清洁分类对洁净室的缔1造、保护和动力本钱有很大的影响。在不同的洁净度等级和监管***的要求下,
在为每个空间分配清洁等级时要小心;衔接空间之间的洁净度分类不该超过两个数量级。例如,10万个洁净室开到100个洁净室是不行承受的,可是10万个洁净室开到1000个洁净室是能够承受的。
直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。相对湿度越高,粘附的难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产***佳温度范围为35—45%。现在我们***的经济科技在发展,同时带动了社会各行各业在告诉发展中。以净化工程这个行业为例,在目前呈现一片喜人的发展态势。
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