如何控制无尘洁净室的温度湿度？

湿度过高发生的问题更多，1万级净化工程，相对湿度超越55%时，冷却水管壁上会结露，假如发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将经过空气中的水分子把硅片外表粘着的灰尘化学吸附在外表耐难以铲除由于加工精度越来越精密，净化工程无尘车间，所以对温度波动规模的要求越来越小。例如在大规模集成电路出产的光刻***工艺中，铜陵净化工程，作为掩膜板资料的玻璃与硅片的热胀大系数的差要求越来越小。

1000级 一般只对尘埃浓度做要求，用于光学器件，仪器等高精仪器等

净化工程在设计时，10级净化工程，工程的墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板，其特点为美观、刚性强。圆弧墙角、门、窗框等一般采用专用氧化铝型材。10级：主要用于带宽小于2微米的半导体工业。其空气净化要求仅次于1级，并且我国半导体技术也在发展之中，在未来对洁净度的要求更加高。净化工程技术的兴起不过是上个世纪的事情，但今天净化技术发挥着重要作用则是有目共睹的。随着产品向着高、1精、1尖方向发展，对净化车间的依赖度也越来越高。

净化工程验收是如何进行的呢？

1、 功能验收应在竣工验收完成后进行，由建设单位负责，并由具有相应检测资质的第三方进行检测。设计、施工单位配合。

2、无尘室净化工程验收的检测状态分为空态、静态和动态。竣工验收阶段的检测宜在空态下进行；功能验收阶段宜在空态或静态下进行．应由建设方、设计方和施工方协商确定，宜在静态下进行；使用验收阶段的检测应在动态下进行。

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