如何控制无尘洁净室的温度湿度？

湿度过高发生的问题更多，相对湿度超越55%时，冷却水管壁上会结露，假如发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将经过空气中的水分子把硅片外表粘着的灰尘化学吸附在外表耐难以铲除由于加工精度越来越精密，所以对温度波动规模的要求越来越小。例如在大规模集成电路出产的光刻***工艺中，作为掩膜板资料的玻璃与硅片的热胀大系数的差要求越来越小。

无尘车间净化工程设计的步骤

评价人员/物料活动的布局

评价洁净室内的人员和物料活动是很重要的。洁净室工作人员是洁净室1大的污染源，一切要害工序应与人员出入门和通道阻隔。

要害的空间应该具有单一的拜访权限，以避免空间成为通向其他非要害空间的通道。一些制药和生物制药工艺简略遭到其他制药和生物制药工艺的穿插污染。工艺穿插污染需求细心评价原料流入道路和容器，资料进程阻隔，制品流出道路和容器。

无尘车间净化工程设计

　(1)收集设计所需基础资料

　　产品净化工程方案、生产规模、生产方法与生产工艺、原辅料及中间产品技术规格、成品包装形式与规格、建设规模、用地情况以及建设方的特殊要求等；对改建项目还应收集原有设计资料。

　　(2)初步确定车间面积、结构形式

　　根据生产产品品种、规模及建设规模初步确定无尘车间应设置的功能间(牛产区、辅助区)，再结合厂总体现划情况确定车间大致建筑面积、结构形式或建筑层数。