如何控制无尘洁净室的温度湿度？

洁净棚具有多种洁净等级及空间调配能够依据运用需求设计制造，因而其简洁运用弹性大安装简单且施工期短以及可移性为其主要特色，洁净棚一起可针对在一般等级的洁净室中局部地区需要高洁净度的当地做局部增设以降低成本。洁净棚是一种可提供局部高洁净环境的空气净化设备。洁净棚主要由箱体、风机、初效空气过滤器、阻尼层、灯具等组成，外壳喷塑。该产品既可悬挂，又可地上支撑，结构紧凑，运用方便。

如何控制无尘洁净室的温度湿度？

湿度过高发生的问题更多，相对湿度超越55%时，冷却水管壁上会结露，假如发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将经过空气中的水分子把硅片外表粘着的灰尘化学吸附在外表耐难以铲除由于加工精度越来越精密，净化工程价格，所以对温度波动规模的要求越来越小。例如在大规模集成电路出产的光刻***工艺中，作为掩膜板资料的玻璃与硅片的热胀大系数的差要求越来越小。

净化车间的净化方式都包括哪些呢？

物理净化方法

1 吸附过滤即活性炭：活性炭是一种多孔含碳材料，具有高度发达的孔结构，马鞍山净化工程，活性炭的多孔结构为其提供大量的表面积，能与气体（杂质）完全接触，无菌室净化工程，这使得活性炭具有吸附性能，很容易达到吸收和收集杂质的目的。像磁力一样，所有分子之间都具有相互吸引力。

2 机械过滤：HEPA网，中文意思是***空气过滤器，达到HEPA标准的过滤网，对于0.3微米的有效率达到99.998%，HEPA网的特点是空气通过，但小颗粒不能通过。HEPA过滤网由一叠连续前后折叠的亚玻璃纤维膜组成，以形成用于放置和支撑过滤边界的波状垫片。

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