洁净室净化工程
随着社会经济高速发展,人们生活、工作及产品生产工艺、产品质量等提出更高的要求,洁净室净化工程使用越来越了。怎样合理使用洁净室,防止差错、污染与交叉污染的发生是GMP的核心之一。交叉污染是指通过人员往返、工具运输、物料传递、空气流动、设备清洗与、岗位清场等途径,将不同品种***的成分混入导致污染,或因人为、工器具、物料、空气等不恰当的流向,使洁净度低的区域的污染物传入洁净度高的区域,而造成交叉污染。那么,如何防止交叉污染呢?2002年实施的《洁净厂房设计规范》明确指出,洁净厂房"工艺平面布置应合理、紧凑。洁净室或洁净区内只布置必要的工艺设备以及有空气洁净度要求的工序和工作室。
如何控制无尘洁净室的温度湿度?
湿度过高发生的问题更多,相对湿度超越55%时,冷却水管壁上会结露,假如发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将经过空气中的水分子把硅片外表粘着的灰尘化学吸附在外表耐难以铲除由于加工精度越来越精密,所以对温度波动规模的要求越来越小。例如在大规模集成电路出产的光刻***工艺中,作为掩膜板资料的玻璃与硅片的热胀大系数的差要求越来越小。
无尘车间净化工程设计的步骤
断定空间清洁度分类
为了能够挑选一个洁净室的分类,重要的是要知道首要的洁净室分类标准和每个洁净分类的颗粒功能要求是什么。环境科学技术研讨所标准14644-1供应了不同的洁净度等级(1、10、100、1000、10000、100000)和不同粒径颗粒的允许数量。
空间清洁分类对洁净室的缔1造、保护和动力本钱有很大的影响。在不同的洁净度等级和监管***的要求下,
在为每个空间分配清洁等级时要小心;衔接空间之间的洁净度分类不该超过两个数量级。例如,10万个洁净室开到100个洁净室是不行承受的,可是10万个洁净室开到1000个洁净室是能够承受的。
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