相对湿度越高,粘附的难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产温度范围为35—45%。1级：主要应用于电子工业，这是目前对净化工程要求的环境，集成电路要求的精度要达到亚微米。随着微电子工业技术领域的突飞猛进，对洁净室的要求越来越高。及时生产间内的例子直径仅有1微米，也会使产品寿命受到影响。净化工程技术的兴起不过是上个世纪的事情，但今天净化技术发挥着重要作用则是有目共睹的。随着产品向着高、、尖方向发展，对净化车间的依赖度也越来越高。而随着净化技术的发展，建设净化车间的技术含量也越来越高，非***人士不能也。除了在生产领域，净化工程技术还会逐渐应用于家庭、公共场合，为人们提供更洁净的生活空间

10级：主要用于带宽小于2微米的半导体工业。其空气净化要求仅次于1级，并且我国半导体技术也在发展之中，在未来对洁净度的要求更加高。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。净化工程在设计时，无论是新建还是重新改造的净化车间，都一定依照***相关标准、规范进行。

送回风管道质量控制

送回风系统管道的密封，是为防止不洁净的空气进入风管，阻止了风管内受污染的空气渗透出去，从而可满足洁净室内的洁净度和延长高1效过滤器使用时间。施工中应***控制管道加工、管道施工和设备的安装质量。

管道加工时应着重做好风管设备的清洁和管道加工过程中的密封措施。管道加工时应采用镀锌钢板制作，满足平整、光滑、坚固及耐侵蚀的要求;消声器内 充填的消声材料应不产尘、不掉渣(纤维)、不吸潮、无污染，不得用松散材料，纤维材料应为毡式材料，外覆可以防止纤维穿透的包材。不应采用泡沫塑料和离心 玻璃棉.

在保证******室净化工程质量的过程中同样有着举足轻重的作用。有资料显示，某***洁净室内工作人员突然， 经查一方面是新风加热器前没有有效地过滤，该管路上有关部件已严重堵塞，由于没有维护，以致没有新风吸入，加上空调箱内一部分风机掉带，总风量又小，导致 洁净室相对密闭，体质较弱的人处在长期缺氧的室内就会出现状况。