净化车间为何要控制温湿度
净化车间的温湿度主要是根据您的加工工艺要求来确定,在满足加工工艺的条件下,应该考虑人的舒适感。随着空气洁净度要求的提高,工艺对温湿度的要求也越来越高,必须达到一定的温湿度等级。例如在大规模集成电路生产的光刻***工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。 湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。
净化厂房墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板制造,
其特点为美观、刚性强。圆弧墙角、门、窗框等一般采用专用氧化铝型材制造.每立方米将小于0.3微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的级别。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于标级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。5μm及以下的微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。
净化车间的节能方法
减少洁净空间的体积:清洁空间的减少意味着风量比、通风时间和能耗的降低。干净的房间每平方米使用的能量是空调办公大楼的10到30倍。如果你减少30%的清洁能源,可以节省25%的能源。又由于10000级洁净区域电力消耗是100000级的2.5倍,因此,企业应该根据不同的空气洁净级别,分别尽力减少洁净室,尤其是高1级别洁净室区域,同时,在高1级别洁净室要求尽可能接近干净空调房间,以减少管道的长度,减少能量损失。
净化车间装修要求
1、工业净化车间的建筑围护界区和室内装修,应选用气密性良好,且在温度和湿度变化的作用下变形小的材料。净化车间内墙壁和顶棚的表面,应平整、光洁、无裂缝、接口严密,无颗粒。
2、净化车间内墙壁和顶棚的表面,应平整、光洁、无裂缝、接口严密,无颗粒物脱落,并应耐清洗和耐酸碱,墙壁和地面、吊顶结合处做成弧形,踢脚不宜高出墙面,当采用轻质材料融断时,应采用防碰撞措施。
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