质谱仪真空泵的***方法，检查和清洁前置真空泵入口过滤器，旋开入口转接器，取下‘O’ ring，弹性挡圈和入口过滤器。用适当的溶液清洗入口过滤器，阴干入口过滤器。重新装上入口过滤器、弹性挡圈、‘O’ring和入口转接器。清洁前置真空泵载气滤网：取下固定垫圈。取下金属丝网及滤头元件。将泵放在一个适当的支撑物(如：凳子)上以方便泵的倾斜，在排油口下放合适的容器。用合适的溶剂清洗金属丝网及滤头元件，阴干后重新装在泵上。重新固定好固定垫圈。

质谱仪的日常维护，有可能造成氮气较高的原因有以下几种：如果刚更换了钢瓶或载气管路过滤器，可能由于载气管路中混入空气，会在刚开机时造成氮气峰较高。可加大分流比，吹扫10分钟后再进行漏气检查。如果载气管路中安装了氦气过滤器，使用一段时间后，由于过滤器饱和而释放氮气，会造成在漏气检查时氮气峰较高，这时需要更换新的氦气过滤器。伴随我国各行业检测需求提升，近年来科学分析仪器开始向物理、化学、生物、电子、光学等技术综合应用的高技术领域发展，电化学技术、色谱技术、光谱技术及质谱技术等技术受关注度不断提升，且技术得到进一步发展。

做维护之前必须将泵停下，降到安全的温度，断开泵及其他元件与电路的连接，以避免发生意外。维护完毕，在没接上电源之前，重新检查一下泵的旋转方向。O型圈和垫圈如果损坏不可重复利用。

气体分析质谱仪：主要有：呼气质谱仪、氦质谱检漏仪等。除以上分类外，还可以从质谱仪所用的质量分析器的不同，将质谱仪分为双聚焦质谱仪、四极杆质谱仪、飞行时间质谱仪、离子阱质谱仪、傅里叶变换质谱仪等。

质谱分析原理：分子在真空中被电子轰击，形成离子，通过电磁场按不同m/e分离；

谱图的表示方法：以棒图形式表示离子的相对峰度随m/e的变化；

提供的信息：分子离子及碎片离子的质量数及其相对峰度，提供分子量，元素组成及结构的信息，可以用于测定相对分子质量、化合物分子式及结构式。

质谱样品：适合分析相对分子质量为50~2000 μ的液体、固体有机化合物样品，试样应尽可能为纯净的单一组分。