质谱仪真空泵的***方法，真空泵使用到一定的时间要做***与维修。真空泵维修必须由接受过适当培训的技术员来维护，确认该技术员对泵油及系统的产物十分熟悉，做维护之前必须将泵停下，降到安全的温度，断开泵及其他元件与电路的连接，以避免发生意外。维护完毕，在没接上电源之前，重新检查一下泵的旋转方向。O型圈和垫圈如果损坏不可重复利用。

质谱仪真空泵的***方法，检查和清洁前置真空泵入口过滤器，旋开入口转接器，取下‘O’ ring，弹性挡圈和入口过滤器。用适当的溶液清洗入口过滤器，阴干入口过滤器。重新装上入口过滤器、弹性挡圈、‘O’ring和入口转接器。清洁前置真空泵载气滤网：取下固定垫圈。取下金属丝网及滤头元件。用合适的溶剂清洗金属丝网及滤头元件，阴干后重新装在泵上。重新固定好固定垫圈。

质谱仪的日常维护，色谱柱，在使用色谱柱尤其是使用极***谱柱时要除去载气中的氧，要注意在更换气瓶时不要混入空气，也可以在气体流路中安装氦气净化器。充分做好试样的前处理，不要使难于挥发的成分进入柱内，避免污染色谱柱。色谱柱不使用时，应该将色谱柱两端堵死，可将色谱柱的两端插入废弃的隔垫中，使色谱柱管内与外部空气隔离，避免空气***色谱柱内部涂层。