无尘车间的原则:
无尘车间里存在大量可以节约能源的地方,例如暖气、通风和空调(HVAC)、工艺冷却、压缩空气以及一些其他的设施。 HVAC系统消耗的电力超过了整座晶片制造厂用电量的一半。之所以造成大量浪费电力及HVAC的容量过剩,很大程度上是因为在设计和建造工厂时走捷径,尽可能地压缩前期投入,而不顾后期运行费用。高1效率的设计和高1效率设备需要很大的前期投入。三、无尘车间的设备和物料出入口,应根据设备和物料的性质、形状等待征设置物料净化用室及其设施。
无尘车间的安装与使用:
1. 装配式洁净厂房的全部维修构件在工厂内按统一模数及系列加工完成,适于批量生产,质量稳定,供货迅速;
2. 机动灵活,即适合在新建厂房配套安装,也适宜老厂房的净化技术改造。维修结构也可随工艺要求任意组合,拆卸方便;
3. 需要辅助建筑面积较小,对土建筑装修要求低。有需要无尘车间欢迎咨询安徽科林尔。
由于无尘车间是密闭性很强的修建,其安全分散成为十分重要和突出的问题,和净化空调体系设置也有密切关系。一般应留意以下几点:
1)每一出产层防火区或无尘区至少设2个安全出口,只要面积小于50㎡,人员少于5人时,可答应只设一个安全出口。
2)进口不应作分散出口。由于道路往往迂回曲折,一旦焰火迷漫,要求人员很快跑到室外是很困难的事。
3)吹淋室不能作为一般收支通道,由于这种门常为两扇联锁或主动,一旦呈现毛病,十分影响分散,所以一般均在吹淋室设旁通门,作业人员多于5人时有必要设此门。平常作业人员出无尘车间时不应走吹淋室而应走旁通门。
无尘车间振动控制
一、无尘车间和周围辅助性站房内有强烈振动的设备(包括水泵等)及其通往洁净厂房的管道,应采取积极隔振措施。
二、无尘车间内外各类振源,应测定其对洁净厂房的综合振动影响。如受条件限制,也可根据经验对综合振动影响进行评价。并应与精密设备、精仪器仪表的允许环境振动值进行比较,以确定对其采取必要的隔振措施。
三、精密设备、精密仪器仪表的隔振措施,应考虑减少发生量、保持洁净厂房内合理的气流***等要求。当采用空簧隔振台座时,应地气源进行处理,使其达到洁净厂房的空气洁净度等级。无尘车间建筑要求
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