洁净室中的温湿度控制

洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。

具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻***工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。

洁净车间相比普通车间的优势

隔热保温，保湿性能好，普通车间只要能符合产品生产加工的要求就可以，在结构设计上没有特别严格的要求。板材用料方面，也没有洁净车间的严谨。洁净车间搭建的用料十分讲究，既要有很好的隔热保温功能，也可以保持湿度。

人员污染控制不同，洁净车间有较大的特点就是洁污分流，人员和物品都是专用通道，避免产生交叉污染。除此之后还要进行吹淋，将附着在人员、物品的污染物排除掉，避免将污染物带到洁净区，影响空气净化工程的净化效果。

洁净室检测之静电检测与验收

B.防静电地面的面层结构和用料应符合下列基本要求：

a.防静电地面的表层应是静电耗散性的材料，其表面电阻率应为1.0×105～1.0×1012Ω/□；或体积电阻率为1.0×104～1.0×1011Ω.cm。一级标准防静电地面的表层材料，其表面电阻率的上限应小于1.0×109Ω/.cm；或体积电阻率的上限应小于1.0×108Ω.cm。而且还应对材料进行静电衰减的量化检验，半衰期应小于0.5s。

b.防静电地面应有导静电泄放措施和接地构造，其地面对地泄放电阻值应为1.0×105～1.0×109Ω。一级标准防静电地面对地泄放电阻值的上限应不小于1.0×107Ω；二级标准防静电地面对地泄放电阻值的上限应不小于1.0×108Ω。

净化室的更衣室有哪些要求

一：洁净室更衣室内应该具有的条件如下：洁净服的存放和处理：消耗性物品和附属物(如手套、口罩、防护性眼镜、套鞋)使用前的存放和处理；个人物品的存放；洗手或其它除污过程；醒目的展示或张贴更衣程序，伴有明确的说明；应有体长的镜，检查着装是否合格。

二：更衣室的性质应该针对其服务的洁净室而定。应该规定的要求如下：进行更衣程序的人数，既有绝1对人数，又有各次的人数;一更衣程序(即需衣脱和穿的服装，这些服装是重复使用的还是一次性的，保证洁净度和避免交叉污染的规程;二洁净服更换频率。