洁净室中的温湿度控制

洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。

具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻***工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。

洁净室检测之静电检测与验收

测试目的

静电问题不是只有半导体业才有，其它行业也有类似问题。微小物质上若是含有静电，就会变成非常难处理的问题，因为传输变的很不容易。另外在无尘室里面，若是物体表面带有静电，就很容易吸引灰尘造成污染。静电测试的目地是测量空气中正离子与负离子的含量，依此数据可仿1真物体在该气流场中之残余表面电压。

洁净室的建造时需要注意的问题

1.需要***的设计施工人员，洁净室的各中参数比例必须进行**测算，气流的流向、温度参数等等在净化工程中都是非常重要的，在建造洁净室时设计师需考虑气流路线、气流速度、室内布局、辅助设备的安装等。

2.洁净室的建设需要资金启动的，所以其建造的适用性与灵活性是必须要考虑到，防止后期无法满足新的生产工艺需要对工程进行改造，浪费不必要的资金和时间，所以在设计方案中要留有改造的空间，否则日后改造的成本会很大，且费时费力。

洁净室建设主要事项：

洁净室的送回风管要采用防雨、防腐、防虫型材料，以确保使用的长久性。洁净室墙体应采用防尘、防静电、耐高温等材料，防尘是为了防止洁净室一些设备会产尘，而在墙壁累积。防静电性能就很重要了，静电的产生会影响产品的成品率，损坏产品零部件，以及对一些仪器，电子器械等都有一定的影响。耐高温是为了防止火灾时对墙壁的***。