洁净室中的气流速度规定

这里要讨论的气流速度是指洁净室内的气流速度，在其他洁净空间中的气流速度在讨论具体设备时再说明。

对于乱流洁净室 由于主主要靠空气的稀释作用来减轻室内污染的程度，所以主要用换气次数这一概念，而不直接用速度的概念，不过对室内气流速度也有如下要求；

(1)送风口出口气流速度不宜太大，和单纯空调房间相比，要求速度衰减更快，扩散角度更大。

(2)吹过水平面的气流速度（例如侧送时回流速度）不宜太大，以免吹起表面微粒重返气流，而造成再污染，这一速度一般不宜大干0.2m/s。

气流***：

一、十万级洁净车间主要采用的送风方式：1、局部孔板顶棚送风 ；2、带扩散板空气过滤器顶棚送风；3.上侧墙送风 等三种送风方式。

二、十万级洁净车间主要采用的回风方式：1、单侧墙下部布置回风口；2、当采用走廊回风时，在走廊内均匀布置回风口或在走廊端部集中设置回风口 。

三、送风口风速（米/秒)：1.孔板孔口3～5； 2、侧送风口：⑴贴附射流2～5 ；⑵非贴附射流同侧墙下部回风1.5～2.5，对侧墙下部回凤1.0～1.5 。

四、回风口风速(米/秒)：1、洁净室回风口不大于 2；2、走廊内回风口不大于4。

洁净室检测之静电检测与验收

B.防静电地面的面层结构和用料应符合下列基本要求：

a.防静电地面的表层应是静电耗散性的材料，其表面电阻率应为1.0×105～1.0×1012Ω/□；或体积电阻率为1.0×104～1.0×1011Ω.cm。一级标准防静电地面的表层材料，其表面电阻率的上限应小于1.0×109Ω/.cm；或体积电阻率的上限应小于1.0×108Ω.cm。而且还应对材料进行静电衰减的量化检验，半衰期应小于0.5s。

b.防静电地面应有导静电泄放措施和接地构造，其地面对地泄放电阻值应为1.0×105～1.0×109Ω。一级标准防静电地面对地泄放电阻值的上限应不小于1.0×107Ω；二级标准防静电地面对地泄放电阻值的上限应不小于1.0×108Ω。

洁净室建设主要事项：

1、洁净室建设过程要极为谨慎，洁净室是一些产品生产时需要的洁净空间，其建造成本高，耗时长，一旦洁净室建造时出现问题，就会加大工期时间，建造成本等。而且洁净室在建设时也要考虑到以后的生产产品变更，洁净室扩展等预留好空间。

2、洁净室的地面与墙面，天花板等交接都要采用中性瓷白玻璃胶密封，防止有缝滋生***，积留灰尘等。