物理净化方法

吸附过滤即活性炭。活性炭是一种多孔含碳材料，具有高度发达的孔结构，活性炭的多孔结构为其提供大量的表面积，能与气体（杂质）完全接触，这使得活性炭具有吸附性能，很容易达到吸收和收集杂质的目的。像磁力一样，所有分子之间都具有相互吸引力。为了防止洁净室之间的交叉污染，洁净室应设计有不同的空气净化室或洁净室内的防污染措施。小物品的转移应通过转移窗口发送。

负离子法

羟基负离子与空气中漂浮的***气体接触后，能还原来自大气的污染物质、氮氧化物、烟等产生的活性氧（氧自由基）、减少过多活性氧对***的危害；中和带正电的空气飘尘无电荷后沉降，使空气得到净化。建筑材料的产尘是一种不可忽视的污染源。净化车间的洁净度级别通常分为：百级、千级、万级、十万级和三十万级。十万级净化车间一般适用于电子仪器仪表、计算机房、半导体厂、印刷厂、汽车工业、航天工业、光刻和微机制造等行业中。

压差

这里根据洁净度等级分2种情况：

1.相同洁净度等级的洁净室，压差需要保持一致；

2.不同洁净等级的洁净室，相邻洁净室之间压差要≥5Pa，洁净室与非洁净室之间要≥10Pa（这里主要是为了保障空气从洁净区流向非洁净区，避免气流倒灌）。车间区域应适应研究，合理排水，平地，无积水，防滑，易清洁材料，***，防水等。只有细节有保证，工程才能保证标准。

净化车间隔间分为三大部分,更衣室,千级区和百级区,更衣室与千级区,千级区和百级区均设风淋室(airshower),净化车间与室外设有物品出入通道传递箱(passbox)。静电场中的阴极线在高压静电的作用下，电晕层中产生大量的负离子，负离子在静电场的作用下不断移动到阳极。当空气中的粉尘通过电场时，粉尘受到负离子的冲击而带电，带有静电场后的粉尘电荷也同样受到静电场的作用，向阳极（集尘极）的运动是，到达阳极后释放电荷。